3月份美国 3M 公司停止运营其位于比利时的 PFAS(全氟 / 多氟烷基化合物)制冷剂工厂,一度引发半导体产业界关注,因 PFAS 在光刻、刻蚀工艺中有重要应用。
日经新闻日前刊文指出,这一事件只是欧美环保新规影响的开端,由于欧洲国家试图在2025年全面限制 PFAS 的制造、使用和出口,业界担心由于替代产品导入存在不确定性,此举将导致相关半导体材料的长期短缺。
该报还预测,未来亚洲地区环保法规也将逐步加强,半导体厂商应未雨绸缪,提早进行替代来源或替代技术的储备。
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